采用创新的微机电系统（MEMS）质量流量传感器技术，历经研制开发的一款医用气体流量测量或过程控制气体质量流量传感器模组。本产品具有高灵敏度、高精度、大量程比、无需温压补偿等特点。可广泛应用于呼吸机、制氧机、雾化器、麻醉机等多种医疗设备。

1.高可靠性与长期稳定性。

2.精度高，重复性好，始动流量小，量程比宽，无机械磨损。

3.微功耗、响应速度快（典型值：5ms)。

4.本产品测量原理为热质量气体流量传感器量，不受温度及压力影响。

5.独特的整流器结构，能更好的改善流场扰动状况，降低了前后直管段长度。